產品介紹
Products
ULVAC 多離子真空計 RS-232C規格 ST200-R系列
感測器類型“G-TRAN系列”,可連接不同測量範圍的探頭 “多離子真空計”系列。
該產品是三極管型電離真空計,即使在真空計惡劣的環境下,也不太可能失去靈敏度,並且可以進行更長時間和更準確的真空測量。
在繼承傳統的長壽命、低運行成本概念的同時,我們進行了改進,使其更加人性化。
可連接不同測量範圍的探頭:多離子真空計允許根據應用選擇探頭。
輕巧:比傳統產品顯著縮小(控制器體積減少56%)
提高可用性:可透過PC/智慧型手機連線進行設定點設定、狀態確認等
三極管型金屬離子真空計(正在申請專利):真空計即使在惡劣環境下也能達到長壽命
燈絲壽命通知功能:透過監控燈絲功率,可以提前通知燈絲壽命。
壓力測量範圍廣:可測量大氣壓力至高真空區域(1×10+5~1×10-5Pa)(連接選購件SWU10-R時)
精確的大氣壓力測量:可以檢查腔室開口的大氣壓力(當連接選用裝置SAU時)
目的
用於確認有機EL、觸控螢幕等製造設備的極限壓力以及製程控制。
用於檢查真空爐等各種工業真空設備的極限壓力。
用於在含有大量碳氫化合物(油基)的大氣中進行測量
用於真空零件加工過程中殘留切削油或清洗液的環境中進行測量。
適用於旨在減少更換真空計探頭頻率的真空設備。
*在腐蝕性氣體(鹵素氣體)氣氛中使用時,請與我們聯絡。
該產品是三極管型電離真空計,即使在真空計惡劣的環境下,也不太可能失去靈敏度,並且可以進行更長時間和更準確的真空測量。
在繼承傳統的長壽命、低運行成本概念的同時,我們進行了改進,使其更加人性化。
可連接不同測量範圍的探頭:多離子真空計允許根據應用選擇探頭。
輕巧:比傳統產品顯著縮小(控制器體積減少56%)
提高可用性:可透過PC/智慧型手機連線進行設定點設定、狀態確認等
三極管型金屬離子真空計(正在申請專利):真空計即使在惡劣環境下也能達到長壽命
燈絲壽命通知功能:透過監控燈絲功率,可以提前通知燈絲壽命。
壓力測量範圍廣:可測量大氣壓力至高真空區域(1×10+5~1×10-5Pa)(連接選購件SWU10-R時)
精確的大氣壓力測量:可以檢查腔室開口的大氣壓力(當連接選用裝置SAU時)
目的
用於確認有機EL、觸控螢幕等製造設備的極限壓力以及製程控制。
用於檢查真空爐等各種工業真空設備的極限壓力。
用於在含有大量碳氫化合物(油基)的大氣中進行測量
用於真空零件加工過程中殘留切削油或清洗液的環境中進行測量。
適用於旨在減少更換真空計探頭頻率的真空設備。
*在腐蝕性氣體(鹵素氣體)氣氛中使用時,請與我們聯絡。
- 產品型號
- 規格說明
- 單位
- 交期
- 數量
- 價格
- 產品型號 AS1-65-0279-25
- 規格說明 型號:ST200-R
規格:RS-232C規格
可連接感測器:多離子壓力感測器/1個、Pirani真空計SWU10-R/1個(選購)、大氣壓力感測器SAU/1個(選購)
重複性(N2):ST200單模/±2%
採樣時間:60ms
5次移動平均處理
測量值輸出
輸出電壓:DC0~10VLOG0.75V/1位數
壓力換算公式:V=7.25+0.75×(LogP-2)P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新時間:60msec
序列通訊規格:RS232C/RS-485
LED指示
POWER/ERROR:電源、錯誤LED(閃爍狀態會因每種模式而變化)
發射電流:2mA(1×10-2Pa以下)、10μA(1×10-2Pa以上)
DEGAS:電子轟擊法,發射電流2mA,閘極電壓約330V
感測器耐壓:2×10+5Pa(絕壓)
*法蘭、卡箍等的耐壓性能需另外考慮。
感測器內部容積:17cm3
工作溫度範圍:10~50℃
工作濕度範圍:15-80%(無凝露)
儲存溫度:-20~65℃(不通電時不結露)
IP防護等級:IP30
電源電壓:DC20~28V(漣波、雜訊1%以下)8W以下
輸入/輸出連接器:D-sub15Pin(M2.6螺絲)
品質:控制器/約280g,探頭/80g
外形尺寸(控制器部分):W69mmxD63mmxH90mm
符合標準:CE - 單位 組
- 交期 請聯絡我們
-
數量
- 價格 50300 元
- 加入比較 加入購物車 線上詢價
- 產品型號 AS1-65-0279-26
- 規格說明 型號:ST200-R
規格:RS-232C規格
可連接感測器:多離子壓力感測器/1個、Pirani真空計SWU10-R/1個(選購)、大氣壓力感測器SAU/1個(選購)
重複性(N2):ST200單模/±2%
採樣時間:60ms
5次移動平均處理
測量值輸出
輸出電壓:DC0~10VLOG0.75V/1位數
壓力換算公式:V=7.25+0.75×(LogP-2)P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新時間:60msec
序列通訊規格:RS232C/RS-485
LED指示
POWER/ERROR:電源、錯誤LED(閃爍狀態會因每種模式而變化)
發射電流:2mA(1×10-2Pa以下)、10μA(1×10-2Pa以上)
DEGAS:電子轟擊法,發射電流2mA,閘極電壓約330V
感測器耐壓:2×10+5Pa(絕壓)
*法蘭、卡箍等的耐壓性能需另外考慮。
感測器內部容積:19cm3
工作溫度範圍:10~50℃
工作濕度範圍:15-80%(無凝露)
儲存溫度:-20~65℃(不通電時不結露)
IP防護等級:IP30
電源電壓:DC20~28V(漣波、雜訊1%以下)8W以下
輸入/輸出連接器:D-sub15Pin(M2.6螺絲)
品質:控制器/約280g,探頭/80g
外形尺寸(控制器部分):W69mmxD63mmxH90mm
符合標準:CE - 單位 組
- 交期 請聯絡我們
-
數量
- 價格 50300 元
- 加入比較 加入購物車 線上詢價
- 產品型號 AS1-65-0279-27
- 規格說明 型號:ST200-R
規格:RS-232C規格
適用的多離子真空計感測器:SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25)
可連接感測器:多離子壓力感測器/1個、Pirani真空計SWU10-R/1個(選購)、大氣壓力感測器SAU/1個(選購)
重複性(N2):ST200單模/±2%
採樣時間:60ms
5次移動平均處理
測量值輸出
輸出電壓:DC0~10VLOG0.75V/1位數
壓力換算公式:V=7.25+0.75×(LogP-2)P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新時間:60msec
序列通訊規格:RS232C/RS-485
LED指示
POWER/ERROR:電源、錯誤LED(閃爍狀態會因每種模式而變化)
發射電流:2mA(1×10-2Pa以下)、10μA(1×10-2Pa以上)
DEGAS:電子轟擊法,發射電流2mA,閘極電壓約330V
感測器耐壓:2×10+5Pa(絕壓)
*法蘭、卡箍等的耐壓性能需另外考慮。
工作溫度範圍:10~50℃
工作濕度範圍:15-80%(無凝露)
儲存溫度:-20~65℃(不通電時不結露)
IP防護等級:IP30
電源電壓:DC20~28V(漣波、雜訊1%以下)8W以下
輸入/輸出連接器:D-sub15Pin(M2.6螺絲)
品質:控制器/約280g
外形尺寸(控制器部分):W69mmxD63mmxH90mm
符合標準:CE - 單位 個
- 交期 請聯絡我們
-
數量
- 價格 40200 元
- 加入比較 加入購物車 線上詢價

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